精密ステージの構造に基づくナノスケールサーボ--共振モードを考慮したマルチレートPWM位置制御の提案

• 資料種別: 記事
• タイトル: 精密ステージの構造に基づくナノスケールサーボ--共振モードを考慮したマルチレートPWM位置制御の提案
• 著者・編者: 坂田 晃一; 藤本 博志
• シリーズタイトル: 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
• 著者標目: 坂田 晃一; 藤本 博志
• 並列タイトル等: Nanoscale servo based on mechanism for precision stage: proposal of multirate PWM positioning control considering resonance mode
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2009(90-111) 2009.3.10
• 掲載巻: 2009
• 掲載号: 90-111
• 掲載ページ: 59～64
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2009-03-10
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 精密ステージ; 位置決め; マルチレート制御; PWMホールド; 制振制御; precision stage; positioning; multirate control; PWM hold; vibration suppression control
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: IIC-09-100
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z43-2260
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 10247049; http://id.ndl.go.jp/bib/10247049
• 整理区分コード: 632