RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成への石英円筒の効果

• 資料種別: 記事
• タイトル: RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成への石英円筒の効果
• 著者・編者: 細川 貴之; 関川 智士; 以西 雅章
• シリーズタイトル: 電子デバイス
• 著者標目: 細川 貴之; 関川 智士; 以西 雅章
• 並列タイトル等: Effect of quartz tube on crystal properties of LiMn2O4 films prepared by RF magnetron sputtering
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 109(23) 2009.5.14・15
• 掲載巻: 109
• 掲載号: 23
• 掲載ページ: 11～15
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2009-05
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: LiMn2O4薄膜; RFマグネトロンスパッタリング; Li二次電池; LiMn2O4 thin film; RF magnetron sputtering; Li secondary batteries
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ED2009-20
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 10247264; http://id.ndl.go.jp/bib/10247264
• 整理区分コード: 632