キャピラリーアレイを用いたガスドーズにおける問題点 (第49回真空に関する連合講演会プロシーディングス)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 杉本 敏樹岡野 達雄福谷 克之
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Problem of gas dose with Micro-Capillary Array
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 52(3) 2009.3
- 掲載巻
- 52
- 掲載号
- 3