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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 蛸井 光吉木 宏之
- 並列タイトル等
- Numerical analysis of microwave electric field distribution of the microwave excited plasma source
- タイトル（掲載誌）
- 鶴岡工業高等専門学校研究紀要 = Research reports of Tsuruoka National College of Technology / 鶴岡工業高等専門学校 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (43) 2008
- 掲載号
- 43
- 掲載ページ
- 5～9
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2008