Effect of Hydrogen Partial Pressure on the Reliability Characteristics of Ultrathin Gate Oxide
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Jihwan ParkYun Jun HuhHyunSang Hwang
- タイトル（掲載誌）
- Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 37(11B) 1998.11
- 掲載巻
- 37
- 掲載号
- 11B
- 掲載ページ
- L1347～L1349
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1998-11