シリコン酸化膜フェンス効果を利用した原子ステップの形状・速度制御 (第28回表面科学学術講演会特集号(2))
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 鎌田 勝也尾崎 亮太矢田 隆伸 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Control of atomic step shape and step flow speed using the effect of Si oxidized films
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 30(8) 2009.8
- 掲載巻
- 30
- 掲載号
- 8