化学的ウエットエッチングによる樹脂フィルム上へのSrTiO3薄膜容量形成プロセス技術
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山田 宏治岡部 寛山下 喜市
- 並列タイトル等
- Chemical wet etching process technology for fabricating SrTiO3 thin film capacitors on core resin films
- タイトル（掲載誌）
- エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 12(6) (通号 82) 2009.9
- 掲載巻
- 12
- 掲載号
- 6
- 掲載通号
- 82