スパッタを用いたITO膜の成膜技術 (小特集 透明導電膜の現状と代替材料)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高橋 明久
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- ITO coating process using sputtering techniques
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 60(10) 2009.10
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 10