1nm高分解能走査型広がり抵抗顕微鏡(SSRM)とLSIデバイス解析への応用 (特集 SPMによる半導体表面分析の最近の展開)
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 張 利
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- 1-nm high resolution scanning spreading resistance microscope and its application to LSI devices
- タイトル（掲載誌）
- 顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 44(3) 2009
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 3