ピエゾ抵抗ひずみセンサを用いたフリップチップ実装構造内局所2軸残留応力分布の測定
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐々木 拓也上田 啓貴三浦 英生
- 並列タイトル等
- Measurement of local two dimensional stress distribution in a flip chip structure by using strain sensor chips with 2-μm long piezoresistance gauges
- タイトル（掲載誌）
- エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 12(7) (通号 83) 2009.11
- 掲載巻
- 12
- 掲載号
- 7
- 掲載通号
- 83