Influences of underlayers on structure of TiO2 thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Masao KamikoJae-Geun HaKazuaki Aotani 他
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Ceramic Society of Japan = 日本セラミックス協会学術論文誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 118(1373) 2010.1
- 掲載巻
- 118
- 掲載号
- 1373
- 掲載ページ
- 5～8
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2010-01