高不純物濃度SOI基板のゼーベック係数 (シリコン材料・デバイス)

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高不純物濃度SOI基板のゼーベック係数

(シリコン材料・デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
10592437
資料種別
記事
著者
池田 浩也ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2010-02
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 109(423) 2010.2.22・23
掲載ページ
p.5~9
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
池田 浩也
Faiz Salleh
シリーズタイトル
並列タイトル等
Seebeck coefficient in heavily-doped SOI layers
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
109(423) 2010.2.22・23
掲載巻
109
掲載号
423