放電プラズマ焼結法によるシリコン研削スラッジの高純度化

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放電プラズマ焼結法によるシリコン研削スラッジの高純度化

国立国会図書館請求記号
Z17-274
国立国会図書館書誌ID
10639472
資料種別
記事
著者
坂本 直道ほか
出版者
京都 : 粉体粉末冶金協会
出版年
2010-03
資料形態
掲載誌名
粉体および粉末冶金 = Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy : 粉体粉末冶金協会誌 / 粉体粉末冶金協会 編 57(3) 2010.3
掲載ページ
p.152~157
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
坂本 直道
安野 拓也
玄場 公規 他
並列タイトル等
Purification of silicon grinding sludge by spark plasma sintering
タイトル(掲載誌)
粉体および粉末冶金 = Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy : 粉体粉末冶金協会誌 / 粉体粉末冶金協会 編
巻号年月日等(掲載誌)
57(3) 2010.3
掲載巻
57
掲載号
3
掲載ページ
152~157