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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 並列タイトル等
- Special issue on "Fine MEMS Project"
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 130(5) 2010.5
- 掲載巻
- 130
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 145～200
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2010-05
- ISSN（掲載誌）
- 1341-8939