高感度機械量センサのためのナノ材料の物性の測定と解析(特集 ファインMEMS)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 高感度機械量センサのためのナノ材料の物性の測定と解析
• 著者・編者: 杉山 進; 鳥山 寿之; 中村 康一 他
• シリーズタイトル: 特集 ファインMEMS
• 著者標目: 杉山 進; 鳥山 寿之; 中村 康一
• 並列タイトル等: Evaluation and analysis of physical properties of nanomaterials for highly sensitive mechanical sensing devices
• タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
• 巻号年月日等（掲載誌）: 130(5) 2010.5
• 掲載巻: 130
• 掲載号: 5
• 掲載ページ: 146～151
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2010-05
• ISSN（掲載誌）: 1341-8939
• ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ファインMEMSプロジェクト; タングステンシリサイド; カーボンナノチューブ; シリコンナノワイヤ; ピエゾ抵抗; Fine MEMS Project; Tungsten silicide; Carbon nanotube; Silicon nanowire; Piezoresistivity
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-B380
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 10662468; http://id.ndl.go.jp/bib/10662468
• 整理区分コード: 632