開口マスクによるシリコン3次元斜面形状の作製 (特集 ファインMEMS)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 竹井 裕介大堀 敬広高畑 智之 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Fabrication of three dimensional silicon slopes using mask with square openings
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 130(5) 2010.5
- 掲載巻
- 130
- 掲載号
- 5