3次元LSI実装のためのTSV技術の研究開発動向

国立国会図書館請求記号: Z74-C649
国立国会図書館書誌ID: 10663610

資料種別: 記事

著者: 吉永孝司ほか

出版者: 東京 : 文部科学省科学技術政策研究所科学技術動向研究センター

出版年: 2010-04

資料形態: デジタル

掲載誌名: 科学技術動向 = Science & technology trends (109) 2010.4

掲載ページ: p.23～34

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 3次元LSI実装のためのTSV技術の研究開発動向
著者・編者: 吉永孝司
野村稔
著者標目: 吉永孝司
野村稔
タイトル（掲載誌）: 科学技術動向 = Science & technology trends
巻号年月日等（掲載誌）: (109) 2010.4
掲載号: 109
掲載ページ: 23～34
掲載年月日（W3CDTF）: 2010-04
ISSN（掲載誌）: 1349-3663
ISSN-L（掲載誌）: 1349-3663
出版事項（掲載誌）: 東京 : 文部科学省科学技術政策研究所科学技術動向研究センター
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM1
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 国の機関 > 中央省庁 > 文部科学省
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00018
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 不可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z74-C649
関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/1206509
関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/1206509
http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/1206509
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 10663610
http://id.ndl.go.jp/bib/10663610
整理区分コード: 632