触媒化学気相堆積法による薄膜形成 (特集 触媒CVD法による薄膜・プロセス技術)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 大平 圭介松村 英樹
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Thin-film formation by catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD)
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 31(4) 2010.4
- 掲載巻
- 31
- 掲載号
- 4