接触分解反応によって生成した原子状水素による金属表面の洗浄 (特集 触媒CVD法による薄膜・プロセス技術)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 和泉 亮
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Surface cleaning for metals using atomic hydrogen generated by heated catalyzer
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 31(4) 2010.4
- 掲載巻
- 31
- 掲載号
- 4