巻号7 2009
高周波スパッタリング...

高周波スパッタリングによる酸化チタン薄膜の光伝導特性

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高周波スパッタリングによる酸化チタン薄膜の光伝導特性

国立国会図書館請求記号
Z74-E107
国立国会図書館書誌ID
10673540
資料種別
記事
著者
深澤 正樹ほか
出版者
蒲郡 : 電波学園愛知工科大学
出版年
2009
資料形態
掲載誌名
愛知工科大学紀要 = Bulletin of Aichi University of Technology 7 2009
掲載ページ
p.31~34
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
深澤 正樹
坂口 鋼一
嶋川 晃一 他
並列タイトル等
Photo-conduction characteristics of titanium oxide films obtained by rf sputtering method
タイトル(掲載誌)
愛知工科大学紀要 = Bulletin of Aichi University of Technology
巻号年月日等(掲載誌)
7 2009
掲載巻
7
掲載ページ
31~34
掲載年月日(W3CDTF)
2009