高電圧パルス列駆動大気圧過渡グローマイクロプラズマを用いた無定形炭素膜の作製 (特集 パルスパワーの最新動向)
デジタルデータあり（科学技術振興機構）
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 井深 真治五十嵐 晃一菊地 淳 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Amorphous-carbon film deposition using atmospheric pressure transient glow microplasma powered by high-voltage pulse train
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 130(6) 2010.6
- 掲載巻
- 130
- 掲載号
- 6