MEMS商品化技術の現状と今後の展望 (特集 MEMS製品開発を支える精密工学)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 澤田 廉士日暮 栄治
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Technology for MEMS commercialization: current status and future prospects
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 76(5) (通号 905) 2010.5
- 掲載巻
- 76
- 掲載号
- 5