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MEMS商品化技術の現状と今後の展望 (特集 MEMS製品開発を支える精密工学)

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MEMS商品化技術の現状と今後の展望(特集 MEMS製品開発を支える精密工学)

国立国会図書館請求記号
Z16-466
国立国会図書館書誌ID
10699328
資料種別
記事
著者
澤田 廉士ほか
出版者
東京 : 精密工学会
出版年
2010-05
資料形態
掲載誌名
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 76(5) (通号 905) 2010.5
掲載ページ
p.491~497
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
澤田 廉士
日暮 栄治
並列タイトル等
Technology for MEMS commercialization: current status and future prospects
タイトル(掲載誌)
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
76(5) (通号 905) 2010.5
掲載巻
76
掲載号
5