温度場によって誘起される希薄気体の流れを用いた気体分離装置
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 杉元 宏篠遠 晃
- 並列タイトル等
- Gas separator with the rarefied gas flow induced by a temperature field
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 53(5) 2010.5
- 掲載巻
- 53
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 347～350