こぼれ話と苦労話「半導体デバイスの超音波ダイシング技術」にまつわる話(特集 2009年度(第29回)精密工学会技術賞)

掲載誌名: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会編 76(6) (通号 906) 2010.6

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資料種別: 記事
タイトル: こぼれ話と苦労話「半導体デバイスの超音波ダイシング技術」にまつわる話
著者・編者: 熊谷壮祐
邱暁明
田篠文照他
シリーズタイトル: 特集 2009年度(第29回)精密工学会技術賞
著者標目: 熊谷壮祐
邱暁明
田篠文照
タイトル（掲載誌）: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会編
巻号年月日等（掲載誌）: 76(6) (通号 906) 2010.6
掲載巻: 76
掲載号: 6
掲載通号: 906
掲載ページ: 616～618
掲載年月日（W3CDTF）: 2010-06
ISSN（掲載誌）: 0912-0289
ISSN-L（掲載誌）: 0912-0289
出版事項（掲載誌）: 東京 : 精密工学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN12
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-466
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 10733325
http://id.ndl.go.jp/bib/10733325
整理区分コード: 632