こぼれ話と苦労話 「...

こぼれ話と苦労話 「半導体デバイスの超音波ダイシング技術」にまつわる話 (特集 2009年度(第29回)精密工学会技術賞)

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こぼれ話と苦労話 「半導体デバイスの超音波ダイシング技術」にまつわる話(特集 2009年度(第29回)精密工学会技術賞)

国立国会図書館請求記号
Z16-466
国立国会図書館書誌ID
10733325
資料種別
記事
著者
熊谷 壮祐ほか
出版者
東京 : 精密工学会
出版年
2010-06
資料形態
掲載誌名
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 76(6) (通号 906) 2010.6
掲載ページ
p.616~618
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
熊谷 壮祐
邱 暁明
田篠 文照 他
タイトル(掲載誌)
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
76(6) (通号 906) 2010.6
掲載巻
76
掲載号
6
掲載通号
906