低周波バイアスを用いたニオブ酸リチウムの深掘りエッチング
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 浅地 豊久鍋澤 浩文内山 英史 他
- 並列タイトル等
- Deep reactive ion etching of lithium niobate by using low-frequency bias
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 53(8) 2010.8
- 掲載巻
- 53
- 掲載号
- 8
- 掲載ページ
- 501～503