微小変位領域における外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め (産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術)

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微小変位領域における外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め

(産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術)

国立国会図書館請求記号
Z43-2260
国立国会図書館書誌ID
10821406
資料種別
記事
著者
前橋 亘ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2010-08-31
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2010(160-171) 2010.8.31
掲載ページ
p.13~18
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
前橋 亘
伊藤 和晃
岩崎 誠
並列タイトル等
Fast and precise positioning with feedforward disturbance compensation in micro-scopic region
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
2010(160-171) 2010.8.31
掲載巻
2010
掲載号
160-171