Gravure&Interview 精密工学の最前線 測るための究極の光学技術を世界に供給し続ける研究開発型企業--Zygo Corporation
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Peter de GrootChris Evans柳 和久
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 76(9) (通号 909) 2010.9
- 掲載巻
- 76
- 掲載号
- 9
- 掲載通号
- 909
- 掲載ページ
- 983～986