SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化

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SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化

国立国会図書館請求記号
Z74-B826
国立国会図書館書誌ID
10830742
資料種別
記事
著者
高木 誠ほか
出版者
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
出版年
2010-09
資料形態
掲載誌名
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (12) 2010.9
掲載ページ
p.63~67
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
高木 誠
松室 昭仁
岩田 博之
並列タイトル等
Nanoprocessing on silicon (100) surface by using SPM and the study of the structural change
タイトル(掲載誌)
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
(12) 2010.9
掲載号
12
掲載ページ
63~67
掲載年月日(W3CDTF)
2010-09