反磁性グラファイト板を用いた非接触二次元位置制御形アクチュエータ試作器における磁気支持剛性の改良
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 鈴木 晴彦齋藤 亮介佐藤 康太 他
- 並列タイトル等
- Improvement of magnetic stiffness on the proto-model of contact-free two-dimensional micro positioning actuator by using diamagnetic graphite plate
- タイトル（掲載誌）
- 日本AEM学会誌 = Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 18(3) 2010.9
- 掲載巻
- 18
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 233～238