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電子線ホログラフィーによる半導体デバイスのドーパント分布観察 (特集 電子線ホログラフィーで究める物質科学)

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電子線ホログラフィーによる半導体デバイスのドーパント分布観察(特集 電子線ホログラフィーで究める物質科学)

国立国会図書館請求記号
Z16-896
国立国会図書館書誌ID
10863751
資料種別
記事
著者
平山 司
出版者
東京 : 日本顕微鏡学会
出版年
2010
資料形態
掲載誌名
顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編 45(3) 2010
掲載ページ
p.143~146
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
平山 司
著者標目
並列タイトル等
Dopant profiling of semiconductor devices by electron holography
タイトル(掲載誌)
顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
45(3) 2010
掲載巻
45
掲載号
3