電子線ホログラフィーによる半導体デバイスのドーパント分布観察 (特集 電子線ホログラフィーで究める物質科学)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 平山 司
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Dopant profiling of semiconductor devices by electron holography
- タイトル（掲載誌）
- 顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 45(3) 2010
- 掲載巻
- 45
- 掲載号
- 3