希ガスRF絶縁破壊における電子発生への励起粒子の効果
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐々木 典彦野角 光治内田 裕
- 並列タイトル等
- Effect of excited particles on electron production in rare gas RF breakdown
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 130(12) 2010.12
- 掲載巻
- 130
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- 1073～1080