単結晶ダイヤモンド・...

単結晶ダイヤモンド・ウェハの開発--マイクロ波プラズマCVD法による大型化とウェハ化技術

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単結晶ダイヤモンド・ウェハの開発--マイクロ波プラズマCVD法による大型化とウェハ化技術

国立国会図書館請求記号
Z74-F693
国立国会図書館書誌ID
10914098
資料種別
記事
著者
茶谷原 昭義ほか
出版者
[つくば] : 産業技術総合研究所
出版年
2010-11
資料形態
掲載誌名
Synthesiology = 構成学 / シンセシオロジー編集委員会 編 3(4) 2010.11
掲載ページ
p.272~280
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
茶谷原 昭義
杢野 由明
坪内 信輝 他
並列タイトル等
Development of single-crystalline diamond wafers: enlargement of crystal size by microwave plasma CVD and wafer fabrication technology
タイトル(掲載誌)
Synthesiology = 構成学 / シンセシオロジー編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
3(4) 2010.11
掲載巻
3
掲載号
4
掲載ページ
272~280