オプティカル・エクステンションによる微細化技術 (特集 次世代リソグラフィ,注目の技術)

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オプティカル・エクステンションによる微細化技術

(特集 次世代リソグラフィ,注目の技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-1255
国立国会図書館書誌ID
10930975
資料種別
記事
著者
井上 壮一ほか
出版者
東京 : オプトロニクス社
出版年
2010-12
資料形態
掲載誌名
Optronics : 光技術コーディネートジャーナル 29(12) (通号 348) 2010.12
掲載ページ
p.60~63
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
井上 壮一
前田 志門
瀧本 道也 他
並列タイトル等
Shrinking technologies by optical extension
タイトル(掲載誌)
Optronics : 光技術コーディネートジャーナル
巻号年月日等(掲載誌)
29(12) (通号 348) 2010.12
掲載巻
29
掲載号
12