雑誌Optronics : 光技術コーディネートジャーナル
巻号29(7)-29(12)=343-348:2010.7-2010.12
記事オプティカル・エクス...

オプティカル・エクステンションによる微細化技術 (特集 次世代リソグラフィ,注目の技術)

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オプティカル・エクステンションによる微細化技術

(特集 次世代リソグラフィ,注目の技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-1255
国立国会図書館書誌ID
10930975
資料種別
記事
著者
井上 壮一ほか
出版者
東京 : オプトロニクス社
出版年
2010-12
資料形態
紙
掲載誌名
Optronics : 光技術コーディネートジャーナル 29(12) (通号 348) 2010.12
掲載ページ
p.60～63
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資料種別
記事
タイトル
オプティカル・エクステンションによる微細化技術
著者・編者
井上 壮一
前田 志門
瀧本 道也 他
シリーズタイトル
特集 次世代リソグラフィ,注目の技術
著者標目
井上 壮一
前田 志門
瀧本 道也
並列タイトル等
Shrinking technologies by optical extension
タイトル（掲載誌）
Optronics : 光技術コーディネートジャーナル
巻号年月日等（掲載誌）
29(12) (通号 348) 2010.12
掲載巻
29
掲載号
12