半導体ウェーハー用RTP装置のモデルベース制御
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高木 良太劉 康志
- 並列タイトル等
- Model-based control for rapid thermal processing of semiconductor wafers
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = IEEJ transactions on industry applications
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 131(2) 2011.2
- 掲載巻
- 131
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 159～165