FIB加工技術の進歩とイオン顕微鏡としての応用 (解析技術特集)

FIB加工技術の進歩とイオン顕微鏡としての応用

(解析技術特集)

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資料種別: 記事
タイトル: FIB加工技術の進歩とイオン顕微鏡としての応用
著者・編者: 杉山昌章
重里元一
池松陽一
シリーズタイトル: 解析技術特集
著者標目: 杉山昌章
重里元一
池松陽一
並列タイトル等: Progress on focused ion beam fabrication and scanning ion microscopy
タイトル（掲載誌）: 新日鉄技報 / 新日本製鐡株式会社技術開発本部, 技術開発企画部編
巻号年月日等（掲載誌）: (390) 2010
掲載号: 390
掲載ページ: 14～19
掲載年月日（W3CDTF）: 2010
ISSN（掲載誌）: 0916-7609
ISSN-L（掲載誌）: 0916-7609
出版事項（掲載誌）: 東京 : 新日本製鐵技術開発本部
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZP42
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-328
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 10974311
http://id.ndl.go.jp/bib/10974311
整理区分コード: 632