機台振動抑圧を考慮したXYステージの軌道追従制御 (特集 モーションコントロール,計測・センサ応用全般)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 平田 光男坂田 祐寿井出 勇治
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Tracking Control of an XY Stage by Considering Suppression of Machine-Stand Vibration
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = IEEJ transactions on industry applications
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 131(3) 2011.3
- 掲載巻
- 131
- 掲載号
- 3