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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 林 裕美松永 範昭和田 真 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- A highly reliable Cu interconnects with CuSiN and Ti-based barrier metal: impact of oxygen surface treatment
- タイトル(掲載誌)
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 110(408) 2011.2.7
- 掲載巻
- 110
- 掲載号
- 408