電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 松崎 栄田中 秀治江刺 正喜
- 並列タイトル等
- Anodic bonding between LTCC substrate and Si substrate with electrical connections
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 131(5) 2011.5
- 掲載巻
- 131
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 189～194