SiC/絶縁膜界面制御技術の開発

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SiC/絶縁膜界面制御技術の開発

国立国会図書館請求記号
Z74-E620
国立国会図書館書誌ID
11148059
資料種別
記事
著者
長野 正裕ほか
出版者
横須賀 : [電力中央研究所材料科学研究所]
出版年
2011-05
資料形態
掲載誌名
電力中央研究所報告. 研究報告. Q / [電力中央研究所材料科学研究所] 編 (通号 10009) 2011.5
掲載ページ
p.1~10,巻頭1~3
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
長野 正裕
大沼 敏治
John Rozen 他
並列タイトル等
Development of control technology for the interface of SiC/insulation film
タイトル(掲載誌)
電力中央研究所報告. 研究報告. Q / [電力中央研究所材料科学研究所] 編
巻号年月日等(掲載誌)
(通号 10009) 2011.5
掲載通号
10009
掲載ページ
1~10,巻頭1~3
掲載年月日(W3CDTF)
2011-05