オールドライプロセスによるMEMS薄膜ヒータの作製とガスセンサへの応用
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山寺 秀哉杉本 憲昭景山 恭行
- 並列タイトル等
- Preparation of MEMS thin film heater by all dry processes and application to gas sensor
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 131(7) 2011.7
- 掲載巻
- 131
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 246～250