大型ガラス基板用ストッカ内の気流変動と汚染の対策に関する検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: 大型ガラス基板用ストッカ内の気流変動と汚染の対策に関する検討
• 著者・編者: 諏訪 好英; 藤井 修二; 林 孝雄 他
• シリーズタイトル: 特集 工業用クリーンルームの最新動向
• 著者標目: 諏訪 好英; 藤井 修二; 林 孝雄
• 並列タイトル等: Countermeasure to the airflow fluctuation and the contamination in clean stockers used for large-scale glass substrates
• タイトル（掲載誌）: 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
• 巻号年月日等（掲載誌）: 49(2) (通号 312) 2011
• 掲載巻: 49
• 掲載号: 2
• 掲載通号: 312
• 掲載ページ: 16～24
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2011
• ISSN（掲載誌）: 0023-5032
• ISSN-L（掲載誌）: 0023-5032
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本空気清浄協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: クリーンストッカ; Clean Stockers; 大型ガラス基板; Large-scale glass substrates; 気流変動; Airflow fluctuation; 汚染; Contamination; 搬送装置; Transport vehicles; ラック領域; Rack area; ファンフィルタユニット; FFUs; 対策; Countermeasures
• NDLC: ZN1
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-98
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 11210263; http://id.ndl.go.jp/bib/11210263
• 整理区分コード: 632