Wave-cutoff method: theory, apparatus, characteristics, and applications (Special issue: Plasma processing)

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Wave-cutoff method: theory, apparatus, characteristics, and applications(Special issue: Plasma processing)

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
11210921
資料種別
記事
著者
Byung-Keun Naほか
出版者
Tokyo : The Japan Society of Applied Physics
出版年
2011-08
資料形態
掲載誌名
Japanese journal of applied physics : JJAP 50(8) (2) 2011.8
掲載ページ
p.08JB01-1~4
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Byung-Keun Na
Kwang-Ho You
Hong-Young Chang
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
Japanese journal of applied physics : JJAP
巻号年月日等(掲載誌)
50(8) (2) 2011.8
掲載巻
50
掲載号
8
その他巻次
2