特集 集積化センサとその設計・製作

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特集 集積化センサとその設計・製作

国立国会図書館請求記号
Z16-B380
国立国会図書館書誌ID
11255311
資料種別
記事
著者
-
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2011-10
資料形態
掲載誌名
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 131(10) 2011.10
掲載ページ
p.343~372
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書誌情報

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資料種別
記事
並列タイトル等
Special issue on "design and fabrication of integrated sensor"
タイトル(掲載誌)
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等(掲載誌)
131(10) 2011.10
掲載巻
131
掲載号
10
掲載ページ
343~372
掲載年月日(W3CDTF)
2011-10
ISSN(掲載誌)
1341-8939