静電容量検出型集積化MEMS慣性センサの固有振動数設計 (特集 集積化センサとその設計・製作)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 鄭 希元出川 宗里後藤 康
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Natural frequency design for an integrated capacitive MEMS inertial sensor
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 131(10) 2011.10
- 掲載巻
- 131
- 掲載号
- 10