アルゴンイオンビームによるスパッタリングー1-装置の製作とその特性

• 資料種別: 記事
• タイトル: アルゴンイオンビームによるスパッタリングー1-装置の製作とその特性
• 著者・編者: 西田 五佐夫
• 著者標目: 西田 五佐夫
• タイトル（掲載誌）: 鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学 / 鳥取大学教育学部 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 27(2) 1977.06
• 掲載巻: 27
• 掲載号: 2
• 掲載ページ: p95～103
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1977-06
• ISSN（掲載誌）: 0371-5965
• ISSN-L（掲載誌）: 0371-5965
• 出版事項（掲載誌）: 鳥取 : 鳥取大学教育学部
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM2
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 物理学--分子・物性
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z14-246
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 1831329; http://id.ndl.go.jp/bib/1831329
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 記事分類: 物理学--分子・物性（提供元: CiNii Research）