バイアス電圧制御型高周波グロー放電励起源の分光特性と発光分析への応用

• 資料種別: 記事
• タイトル: バイアス電圧制御型高周波グロー放電励起源の分光特性と発光分析への応用
• 著者・編者: 我妻 和明
• 著者標目: 我妻 和明
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 48(1) 1999.01
• 掲載巻: 48
• 掲載号: 1
• 掲載ページ: 95～101
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1999-01
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10894441
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10894441; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10894441
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 1951250; http://id.ndl.go.jp/bib/1951250
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 高周波グロー放電プラズマ励起源を使用した発光分光分析においてその検出限界を向上させるために,外部直流電源によるバイアス電圧制御法を検討した.直流電圧を加えることにより,高周波グロー放電における自己バイアス電圧より高い電圧降下をカソードシースに負荷することができスパッタリング量の増大に寄与する.更に,...