マイクロリソグラフィ技術--過去・現在・未来(講座)

掲載誌名: 日本写真学会誌 = Journal of the Society of Photography and Imaging of Japan 46(3) 1983.06

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資料種別: 記事
タイトル: マイクロリソグラフィ技術--過去・現在・未来(講座)
著者・編者: 篠崎俊昭
著者標目: 篠崎俊昭
タイトル（掲載誌）: 日本写真学会誌 = Journal of the Society of Photography and Imaging of Japan
巻号年月日等（掲載誌）: 46(3) 1983.06
掲載巻: 46
掲載号: 3
掲載ページ: p179～183
掲載年月日（W3CDTF）: 1983-06
ISSN（掲載誌）: 0369-5662
ISSN-L（掲載誌）: 0369-5662
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本写真学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZP48
対象利用者: 一般
記事種別、記事分類: 記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器 ; 印写工学
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-495
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 2595881
http://id.ndl.go.jp/bib/2595881
整理区分コード: 632