超精密加工技術の発達と今後の課題--ナノテクノロジーとの関連 (超精密技術<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 谷口 紀男
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 87(791) 1984.10
- 掲載巻
- 87
- 掲載号
- 791
- 掲載ページ
- p1101～1108