電子ビーム露光微細加工技術と弾性表面波機能素子
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山之内 和彦
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 東北大学電通談話会記録
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 53(3・4) 1985.03
- 掲載巻
- 53
- 掲載号
- 3・4
- 掲載ページ
- p103～108
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1985-03