レーザ干渉計を応用した非接触微細形状測定装置

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レーザ干渉計を応用した非接触微細形状測定装置

国立国会図書館請求記号
Z16-466
国立国会図書館書誌ID
3026693
資料種別
記事
著者
谷村 吉久ほか
出版者
東京 : 精機学会 ; [1933]-1985
出版年
1984-10
資料形態
掲載誌名
精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌 50(10) 1984.10
掲載ページ
p.p1617~1621
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
谷村 吉久
豊田 幸司
タイトル(掲載誌)
精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
50(10) 1984.10
掲載巻
50
掲載号
10
掲載ページ
p1617~1621
掲載年月日(W3CDTF)
1984-10